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车间搬运—封测物流解决方案
设备组成
智能氮气柜、复合AGV功能特点
自动存取、管理晶圆，自动上下料核心价值
针对晶圆的三种载具，定制智能氮气柜、ARV。项目采用4台氮气柜和4台ARV，实现从晶圆来料到存储、磨划机台自动上下料、搬运管理全流程物流自动化。
